SJ6000激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。

激光干涉儀測(cè)量機(jī)床直角

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。

測(cè)量機(jī)床垂直度

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

SJ6000激光干涉儀量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測(cè)量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m