中圖儀器研發生產的三維輪廓測量儀是以白光干涉技術原理，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。中圖輪廓測量儀專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

測量原理

光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光 終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

產品參數

產品性能特征

1、高精度、高重復性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統，保證了測量精度和測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件

測量數據自動統計，可視化窗口，結合自定義分析模板的自動化測量功能，實現了快速批量測量的功能，自動完成多區域的測量與分析過程。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。

信息化時代下，測量技術是科學技術發展和國民經濟提高的關鍵與基礎，尤其是測量型儀器儀表，可以說是信息產業的源頭和重要組成部分。

深圳中圖輪廓測量儀為工件的微觀三維形貌和表面特征分析提供可靠依據，降低了勞動強度，提髙了生產效率。同時多種功能使得測量方便準確。一鍵式測量及分析，并自動生成測試報告后，不但節約了大量資金，易于維護，方便工人操作；又提高了產品的質量，提升效率，是現代化常用的檢測設備。